Impact of etching conditions on the sidewall quality of InGaN/GaN micro-LEDs investigated by cathodoluminescence imaging

verfasst von: Stefan Wolter, Vladislav Agluschewitsch, Silke Wolter, Frederik Lüßmann, Christoph Margenfeld, Georg Schöttler, Jana Hartmann, Andreas Waag
Typ: Artikel
Journal: Journal of applied physics
Band: 136
ISSN: 0021-8979
Publikationsdatum: 28.12.2024
Publikationsstatus: Veröffentlicht
Peer-reviewed: Ja
Elektronische Version(en): https://doi.org/10.1063/5.0243841 (Zugang: Unbekannt)
https://pubs.aip.org/jap/article/136/24/245703/3328166/Impact-of-etching-conditions-on-the-sidewall (Zugang: Unbekannt)